■製品名:Si基板5-50 μm LT & LN 薄膜
■製品名:Si基板5-50 μm LT & LN 薄膜NANOLN社は、単結晶ニオブ酸リチウム薄膜および単結晶タンタル酸リチウム薄膜の専門メーカです。当社のSi基板5-50 μm LT & LN 薄膜は、音響光学変調器、TC-SAWフィルタ、テラヘルツ源などの製品に利用できます。
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■ 用途
・音響光学変調器 ・TC-SAWフィルタ ・テラヘルツ信号源
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■ 仕様
| トップ機能層 |
直径 |
3, 4, 6 インチ |
方位 |
X, Z, Y-42, Y-46.3 他 |
| 材料 |
LiTaO3, LiNbO3 他 |
厚さ |
5-50 μm |
| 基板 |
材料 |
Si |
| 厚さ |
230-500 μm |