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LID（Laser-Induced Deflection ）測定システムは、バルク材料やコーテイング膜の極めて低い吸収レベルを測定するために開発された最新の測定装置で、sub-ppm (< 10-6 / cm)レベルの測定が可能です。光学ガラス（SiO2、BK7、…）、光学結晶（CaF2、YVO4、LiNbO3、…）、透明樹脂（ポリアクリレート、…）などに適用可能です。


図1. LIDデバイス例–LID吸収測定システムの中枢部分	図2. 2波長測定システムの例


図3. 立方体サンプルのセット	図4. 円形薄膜サンプルのセット	図5.敏感なテストビーム位置計測用二重検出ユニット

■用途 •サンプルバルク材料内、サンプル表面、HR / ARコーティングに吸収された絶対パワーの直接測定 •光学ガラス（SiO2、BK7、…）、光学結晶（CaF2、YVO4、LiNbO3、…）、透明樹脂（ポリアクリレート、…）に適用可能 •材料特性に依存しない絶対パワーキャリブレーション機能を備えていますので、絶対吸収係数α（バルク材料の場合は[cm-1]）を決定できます。 •感度<10μW/ cmNEP（SiO2）→　α<1ppm / cm •1つまたは複数の波長での測定を選択可能、ポンプレーザー出力の大きさで感度が変化→予算や目的に応じた構成が可能 •対象顧客：光学ガラスや結晶メーカー、薄膜メーカー、品質管理

■測定原理

サンプルへ強い緑色レーザーを照射 ◦レーザ光の一部が吸収されサンプルを加熱 ◦屈折率の局所的な熱変化が起きる ◦2つの横方向テストレーザービーム（赤）の光路が変化 ◦光路変化〜吸収に比例

■仕様

吸収レベルの測定	sub-ppm (< 10-6 / cm)
カスタマイズ可能なサンプル形状ー標準タイプ：	立方体(20 × 20 × 20)mm³ 直方体　例えば(8 × 8 × ≥12)mm³ 薄いディスク　例えば25mm Ø × 2mm
電源レーザ/周辺機器 LIDデバイス	. 100–240V AC, 50 Hz…60 Hz 24VDC 安定化電源（付属）
データ取得、A / D変換、データ処理用モジュール
PCへのインターフェース（Windows 10は含まれていません）：LAN
・評価用ソフトウェア（キャリブレーションおよびテストサンプル測定分析）・測定データのデータベース処理用ソフトウェア（製造、測定パラメータの入力、サンプル番号など）
メーカ	SPECK SENSORSYSTEME GmbH

*SPECK社ではお客様のお知りになりたい情報を的確に把握するため質問票を用意しています。 “見積りが必要な場合以下の質問票に記載し、メールに添付してお送りください” 「質問票」ダウンロード

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CRD（Cavity-Ring-Down）測定システムは、高反射光学コーティング層の損失を正確に測定できます。平面およびわずかに凹状の光学部品での損失の測定ではR> 99.9％で、dR / R <2ppmの精度です。また、さまざまな離散入射角での損失測定やs偏光、p偏光の測定が可能です。用途に応じて測定に用いるレーザー波長を選択することができます。


図1：4波長測定システムのセットアップ例	図2：3波長測定システムのセットアップ例

■用途 •高反射光学コーティング層の損失の正確な評価 •平面およびわずかに凹状（\| r \|> 500mm）の光学部品での損失の測定：公称反射率R»99％（通常値：99.995％） •R> 99.9％で、dR / R <2ppmの精度 •さまざまな離散入射角での損失の測定、およびs偏光および/またはp偏光の測定 •希望する目的に応じて、注文時に選択可能なレーザー波長（波長例：≥355nm…532nm…633nm…1064nm…≤1310nm）
■測定原理パルスまたは高速スイッチcwレーザーをパッシブ共振器キャビティへ入射測定のコーティングは、すべてのラウンドトリップで反射 → 反射損失アウトカップリングされた信号の時間依存性を高精度評価 → リングダウンパルスの既知のラウンドトリップ時間を用いて、リングダウン時間特性による損失を評価します。反射あたりのL; R = 1 – Lと仮定すると、反射率が得られます。

測定画面の例

■仕様

反射率測定精度	R » 99% dR/R < 2ppm for R > 99.9%
評価試料必要な基板特性 * 0°a.o.iでの測定用その他の仕様はお問い合わせください。	Ø 1” or 0.5” (~ 25, 12.5mm), 厚さ ~ 6mm; 使用される波長で透明な基板；裏面研磨、平面
電源レーザ（モデルにより異なる場合があります）ディテクタ	. 100–240V AC, 50 Hz…60 Hz ＋/- 9V DC
データ取得、A / D変換、データ処理用モジュール
PCへのインターフェース（Windows 10は含まれていません）：USB 2.0
評価用ソフトウェア（R分析）、測定データのデータベース処理（生産品の入力および測定パラメータ、サンプル番号など）、ISO-13142準拠テストレポートシートの編集
メーカ：SPECK SENSORSYSTEME GmbH

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