開発力・製造力・商社力 三つの力でお客様のご要望にお応えいたします
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■特徴・最高グレードのクリーンルームで製造 ・TEM00モード出力(M2<1.2~1.5) ・長期安定動作 ・ビーム径：0.7 mm■用途・ITOフィルム加工 ・ガラス、セラミック加工 ・ポリマー加工 ・微細加工 ・ウエハー加工 ・科学研究 |
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| パラメータ | 単位 | Pulse-355-3 | Pulse-355-5 | Super Pulse-355-10 | Super Pulse-355-15 | Super Pulse-355-20 |
| 波長 | nm | 355 |
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| 繰り返し周波数 | kHz | 10-150（Options:single shot to 200kHz） | 50-150（Options:single shot to 200kHz） | |||
| パルス幅 ＠30 kHz | ns | ≤16 | ≤18 | ≤15 | ||
| 平均パワー @30 kHz | W | > 3 | > 5 | > 10 | > 15 | > 20 |
| 平均パワー安定性 | % | < ±3 over 24hours |
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| 出力ビーム | – | TEM00 (M2 <1.2) |
TEM00 (M2 <1.3) | |||
| ビーム広がり角 | mrad | < 2 |
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| 1/e2ビーム径 | mm | 0.7 |
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| ビーム真円度 | % | > 90 |
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| ポインティング安定性 | µrad | < 50 |
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| 偏光方向 | – | 水平 |
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| 偏光比 | – | 100 : 1 |
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| 冷却方式 | – | 水冷/空冷 |
水冷 | |||
| メーカ | INNGU LASER |
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DPSSレーザとは